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科創板半導體設備巨頭中微公司披露了定增認購情況，總額82.1億元的市價定增，終獲20家中外知名機構認購。其中大基金二期獲配多，達25億元；高毅旗下的兩只基金獲配5.39億元；新加坡政府投資公司、瑞銀集團也均有參與。

本次定增募投的產業化基地建設項目，擬擴充和升級的產品類別為等離子體刻蝕設備、MOCVD設備、熱化學CVD設備等。

東吳證券周爾雙表示，2020年我國已是全球半導體設備銷售額大的市場，但設備自制率仍較低，增長空間巨大。

據財聯社主題庫顯示，相關上市公司中：

北方華創今年以來刻蝕、CVD等產品取得重要突破，收到國內領先存儲公司的訂單；晶盛機電的12英寸單晶爐及部分加工設備已實現批量銷售，在國內知名客戶產業化應用。